论文

论文名称
3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试
关键词
激光扫描共聚焦显微镜,非线性误差,光学相干层析成像
发布刊物
中文期刊
发布刊物或会议
红外与激光工程
收录情况
EI
申请部门
长度计量科学与精密机械测量技术研究所
论文作者
崔建军;杜华;朱小平;薛梓;陈恺