论文

论文名称

pH值对镁铝尖晶石化学机械抛光效果的影响

关键词

超精密加工,表面质量,化学机械抛光

发布刊物

中文期刊

发布刊物或会议

红外与激光工程

收录情况

EI

申请部门

长度计量科学与精密机械测量技术研究所

论文作者

[外]闫勇刚;[外]邓小玲;[外]王占奎;崔建军