论文

论文名称
A High-precision Absolute Angular Displacement Capacitive Sensor Using Three-stage Time-Grating in Conjunction with a Re-modulation Scheme
关键词
Absolute rotary sensor,capacitive sensor,angular displacement measurement
发布刊物
外文期刊
发布刊物或会议
IEEE
收录情况
EI
申请部门
长度计量科学与精密机械测量技术研究所
论文作者
[外]Zhicheng Yu;[外]Kai Peng;[外]Xiaokang Liu;[外]Ziran Chen;黄垚