论文

论文名称
Atomic Force Microscope Scanning Head with 3-Dimensional Orthogonal Scanning To Eliminate The Curved Coupling
关键词
Atomic force microscope,Scanning head,Nanometrology
发布刊物
外文期刊
发布刊物或会议
Ultramicroscopy
收录情况
SCI,EI
申请部门
纳米新材料计量研究所
论文作者
施玉书;李伟;高思田;卢明臻;[外]胡晓东