论文

论文名称
Effect of residual gas on structural, electrical and mechanical properties of niobium films deposited by magnetron sputtering deposition
关键词
residual gas,niobium film ,
发布刊物
外文期刊
发布刊物或会议
Materials Research Express
收录情况
SCI
申请部门
电磁计量科学研究所
论文作者
[外]王兰若;钟源;李劲劲